Research
これまで取組んできた，また，現在取り組んでいる研究テーマについて紹介します．
メカトロニクスと制御
ステージの位置決め制御系
に対するオートチューニング
ステージの制御では，加工物の小型微細化に伴い，位置決めの高精度化が求められます．また，生産スループット向上のため位置決めの高速化も重要です．これらを背景に，制御器の設計では緻密なパラメータ調整が行われます．さらに，ステージを大量に製造する場面では，製品のばらつきによりパラメータチューニングに試行錯誤を要します．本研究では，設計者の負担軽減のため，パラメータの自動調整に取組んでいます．
空圧式アクティブ除振装置
による振動制御
半導体露光装置では，床からの振動を抑えるため，空圧式アクティブ除振装置が採用されています．同装置ではアクチュエータとして空気ばねを採用しており，ばねの内圧を制御することで振動を抑制しています．しかしながら，コンプレッサから供給される圧縮空気の圧力が変動し，それが流量外乱として除振装置を振動させます．また，圧縮空気が流れる配管の影響で，むだ時間が発生します．本研究では，これらの除振装置の構造に起因する緒課題について，その対策を検討しています．
情報と制御
ネットワーク化制御系に対する
状態推定
汎用のネットワーク上では，信号の伝送遅延は不規則に変動するため，その影響をいかに補償するかが課題となります．遅延時間を事前に予測するのは困難ですが，タイムスタンプを利用することで，信号の受信時に遅延を計測することができます．そこで，同計測法を活用した状態推定器を提案しました．さらに，タイムスタンプの前提条件である計算機の時刻同期についても検討し，msecオーダのサンプル周期に対して必要な精度内で同期可能であることも確認しました．
オブザーバによる
センサ出力の外れ値補償
非接触センサによる計測では，障害物や埃の挿入等により一時的に外れ値が発生することがあります．本研究では，ソフトセンシングによる外れ値の補償方法を検討しました．同手法では，複数のセンサ出力から，外れ値の影響が比較的小さいものを随時選択し，選ばれたセンサの組合わせに応じてオブザーバゲインを切替えます．
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